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- 一、设备用途:化学气相沉积炉主要用于碳化硅(SIC)及氮化硼(BN)等新材料的制备。二、气相沉积炉设备特点:1 立式结构,气相沉积炉炉门采用丝杠升降或液压升降/手动升降。2 双层炉
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