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北京气相沉积炉的原理

来源:http://beijing.sinokiln.com/news634176.html    发布时间 : 2021-6-18 10:32:00

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北京气相沉积炉是一种化工设备,咸阳陶瓷研究设计院有限公司从事该窑炉生产多年。化学气相沉积(CVD)炉技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物,也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物,而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。

化学气相沉积技术是应用气态物质在固体上阐述化学反应并产生固态沉积物的一种工艺,它大致包含三步:

1)形成挥发性物质;

2)把上述物质转移至沉积区域;

3)在固体上产生化学反应并产生固态物质。

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