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北京气相沉积炉使用方法

来源:http://beijing.sinokiln.com/news710836.html    发布时间 : 2021-11-2 10:15:00

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化学气相沉是传统的制备薄膜的技术,它的原理就是利用气态的先驱反应物,通过原子、分子间的化学反应,在晶片上形成薄膜。气相沉积能够生产出具备高质量高纯度以及高强度等优点的材料,因此在半导体行业很受欢迎。

北京气相沉积炉的罩体和盖板它们连接一体轴,气相沉积炉的侧壁上设置电极设置于罩体内部,罩体内壁对应的导电板和盖板以及驱动让其饶轴转动,盖板密封的罩体的开口和罩体形成一个密封体,盖板使罩体的开口保持着开状可相对罩体翻转,极大的方便进行上下料作业,不需要采用微波发生器作为能量来源,有利于降低成本,盖板可以自动打开和关闭,效率高,易于操作。

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